泰伯(TALBOT)光刻機(jī)
作為最著名的衍射效應(yīng)之一，泰伯(Talbot)效應(yīng)可以用于光刻技術(shù)中以制造周期性納米結(jié)構(gòu)。繼I.-H. Lee等人，我們?cè)诹呅尉W(wǎng)格上構(gòu)造了一個(gè)圓錐形光柵掩膜版，并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。 特別是，由于光刻過(guò)程中使用的紫外光是非偏振的，因此我們?cè)谑纠醒菔玖巳绾螢閂irtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。 ]}z'X!v_@
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圓錐形相位掩模的Talbot圖像 N[qA2+e$Z
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在VirtualLab Fusion中對(duì)帶有圓錐體的相位掩模版進(jìn)行了建模。檢測(cè)到不同的Talbot圖像，以使柱形圖案位于主像平面中，而孔圖案出現(xiàn)在次像平面中。 _u r G_~q
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用于光柵仿真的非偏振光–實(shí)例討論 +I|R k&
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示范了在VirtualLab Fusion的光柵仿真建模中，如何以?xún)蓚�(gè)正交偏振態(tài)的平均值建模非偏振光的影響。 ^Xs%.`Gv/
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