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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 要怎么做才能用臺階儀測出透明薄膜厚度？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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jlxygun	2007-10-17 00:29
要怎么做才能用臺階儀測出透明薄膜厚度？我磁控濺射在k-9玻璃上做的SiN薄膜是透明的，而臺階儀要求兩個面之間有一定的對比度（在顯示器上可以分辨出臺階），希望大家給出出主意，怎么處理才能用臺階儀測出SiN厚度呢？謝謝！

huyanah	2007-11-07 17:10
坦白的說，臺階很難 Sj\|tR[SAoD 橢偏可以

memser

2007-11-07 21:35

臺階儀不是接觸式測量嗎？探針接觸掃描曲線，為什么還要有對比度呢，難道我們用的臺階怡不一樣，實在不明白，我只知道膜厚太小，《1000A測的不準(zhǔn)。不過這個測的不準(zhǔn)，用橢偏儀或者VYKO三維輪廓儀測吧。不過用橢偏儀你得知道K-9玻璃的law文件才能測，用VYKO你得光刻做個臺階后才行，都比較準(zhǔn)吧。再不就用膜厚儀吧，不怎么準(zhǔn)，因為折射率是設(shè)定了的，而且可能還不行，因為沒有你這基底啊。

ccc502	2007-11-10 18:12
這個問題比較難解決

yxbxgjs	2009-11-22 21:43
在樣品上作一個臺階就可以測量了

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