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急問!氮氧化硅的消光系數(shù)是多少呀?
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waiwai34
2008-04-28 13:25
急問!氮氧化硅的消光系數(shù)是多少呀?
化學劑量比就是SiON的情況下,氮氧化硅的消光系數(shù)是多少呀?是否小于0.1,這種參數(shù)可以在什么書中查到呀?還有折射率與消光系數(shù)有直接的關系嗎?氮氧化硅薄膜的消光系數(shù)與薄膜的厚度有關系嗎?
jorouka
2009-04-17 23:28
氮氧化硅是什么???
legendlyy
2009-04-20 12:40
這方面的數(shù)據(jù)不全
legendlyy
2009-04-20 12:40
和膜厚無關
legendlyy
2009-04-20 12:40
只和氮氧比例有關
legendlyy
2009-04-20 12:41
用包絡法可以算
wuya02109
2009-08-07 19:52
同意,膜的消光系數(shù)與膜厚無關,只與該種膜的元素含量的多少有關。
`UD/}j@
N的含量越大,消光系數(shù)越大。
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急問!氮氧化硅的消光系數(shù)是多少呀?
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