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andy0627

2008-06-26 14:54

金屬薄膜之制作

實驗2 金屬薄膜之制作
一、實驗目的
學習利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)制作金屬薄膜。
1．了解真空技術(shù)的基本知識；
2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法；
3．了解真空鍍膜的基本知識；
4．學習掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法．

二、實驗原理
　　鍍膜技術(shù)有很多種，但大體上可分為利用液體及氣體成膜兩種方法，前者大多涉及化學變化，后者皆有些是利用化學作用，有些則是屬于物理作用。如圖(1)所述：