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光行天下 -> 光學檢測、光學測量與光機裝調(diào) -> 超精密加工表面微觀形貌的光學測量方法 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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cyqdesign	2008-07-08 09:14
超精密加工表面微觀形貌的光學測量方法一、概述 ~7T]l1]W% ]Ow A>fb 機械零件的表面加工質量不僅直接影響零件的使用性能，而且對產(chǎn)品的質量、可靠性及壽命也至關重要。隨著超精密加工技術的飛速發(fā)展，超精密加工表面的微觀形貌測量已成為超精密加工領域中亟待解決的關鍵課題。