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2008-07-30 10:10 |
求助：用氧化銦錫陶瓷靶與用銦錫合金靶要如何設(shè)置參數(shù)
求助：用氧化銦錫陶瓷靶與用銦錫合金靶分別如何設(shè)置參數(shù) [ rQMD^:M$
磁控濺射的 (n=9c%w
現(xiàn)在網(wǎng)上找的一些資料說濺射溫度90 濺射功率200W AR與O2的分壓比為40：10 w4\BD&7V
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但機器上我們不是要設(shè)置O2流量與 AR流量 這些我不知道怎么設(shè)置 z)4UMR#b&
剛進這行沒幾個月 希望高手給我介紹下
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