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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 請教關(guān)于脫膜 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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cl610	2008-11-04 11:40
請教關(guān)于脫膜我們有個產(chǎn)品，AR400--900nm的，平均反射小于1%，我用Ta2O5+MgF2做的，基底材料LaK4，曲線還可以，就是脫膜，不知道是什么原因，請各位大俠賜教。還有沒有人用過這兩種材料的組合嗎？效果怎么樣？

zzh1011	2008-11-04 21:20
注意真空室是否有油分子，膜料預(yù)溶是否充分，最好加---IAD

zyg1693	2008-11-07 17:08
你用AL2O3打底層再試試

cl610	2008-11-08 20:29
謝謝各位回復(fù)，真空室倒是沒有回油，我現(xiàn)在懷疑是不是Ta2O5和MgF2的結(jié)合不好？

hhxxttxs	2008-11-11 23:18
基體溫度也會有影響吧，襯底洗凈了嗎？有好多好象直接卷起來，還有膜直接斷裂，這些可能跟薄膜的內(nèi)應(yīng)力有關(guān)，還有熱膨脹問題。看看晶格參數(shù)差多少

leisf	2008-11-12 14:52
如果不介意的話我也說兩句吧:我覺得你也說對了,中間再加些AL2O3吧!

cl610	2008-11-13 22:48
我們設(shè)備配的是北京空間中心的離子源，目前尚未投入使用，膜料預(yù)熔三分鐘左右，充氧后真空度維持在3.4E-2Pa左右，烘烤溫度300度，（實測270度），膜層經(jīng)混合液棉花使力擦后先起路子，然后就會大面積脫膜。還有al2o3是做底層還是中間層啊？

laonan	2008-11-17 16:44
加過渡層是比較理想的方法，可以試試

gszljw	2008-11-22 23:03
脫膜是在什么環(huán)境下造成！用什么方法使他脫膜了，請說清楚后，可能會快速幫你解決

lyz781128	2008-11-24 10:23
你鍍MGF2有用離子源嗎？

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