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冰人 2008-12-14 20:27

鍍銦膜層厚度測(cè)量

如圖,圖中紅色部分鍍?cè)阢~件表面的銦膜,厚度為幾微米! 9787uj]Y}H  
[attachment=15572] cJE>;a  
求助該如何測(cè)量其具體厚度!要用到什么樣的設(shè)備和什么樣的測(cè)量方法? /7HIL?r  
十分感謝!
liu8209 2009-08-26 02:05
美國(guó)薄膜厚度測(cè)量?jī)x器公司Filmetrics (filmetricsinc.cn) 已經(jīng)開發(fā)出簡(jiǎn)便易行而經(jīng)濟(jì)有效利用光譜反射率精確測(cè)量氧化銦錫的設(shè)備。 儀器 F20-EXR 提供 400-1700nm 波長(zhǎng),可對(duì)氧化銦錫薄膜進(jìn)行可靠的厚度分析。詳情請(qǐng)查公司中文網(wǎng)站。
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