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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 關(guān)于波長控制的一個話題 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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oudexu	2008-12-21 15:26
關(guān)于波長控制的一個話題請教大家一個問題，機器離子濺射，在控制波長方面，以往是調(diào)節(jié)試樣鏡片到靶的距離就行了，而且非常敏感。最近幾次調(diào)了很多距離也不見波長有變化。請問造成這種情況有哪些可能呢？ tI^[\|@, 膜厚控制為光學(xué)極值法。

yzhuang	2008-12-21 21:51
第一次聽說這樣調(diào)節(jié)的,我們調(diào)節(jié)的一般是單色儀的輸出波長,基片位置是不動的,補充一下,我的是真空蒸鍍

oudexu	2008-12-22 20:04
老式設(shè)備嘛 1ljcbD)T; 我們機器鍍膜和測波長是分開的

oudexu	2008-12-22 20:10
我們機器是老式設(shè)備 )h>dD 鍍膜和波長檢測是分開的

9603128	2009-03-04 22:19
我是第一次聽說這樣調(diào)節(jié)的,我們調(diào)節(jié)的一般是單色儀的輸出波長,基片位置是不動的,補充一下,我的是真空蒸鍍，不應(yīng)當(dāng)有這種情況的

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