超精密車床的非球面加工技術(shù)
1.前言 uL1$yf'
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近年來，給家電行業(yè)帶來繁榮的民用磁帶錄像機(VTR)，是由于磁頭的微細(xì)槽加工技術(shù)得到確立所致。進(jìn)而IC存儲芯片的存儲器擴大競爭是因為步進(jìn)器為代表的微小定位裝置和光學(xué)透鏡系統(tǒng)取得非常大的進(jìn)步。可以說，這些尖端加工技術(shù)，使日本上升為—個技術(shù)國家。 tJgo% P1
但是，這些尖端加工技術(shù)，是所謂精密定位技術(shù)，從輪廓生成的觀點來看時，其精度還低1個或2個數(shù)量級、勉強進(jìn)入微米級，可以說與歐美的超精密技術(shù)相比，還差1、2步則是實情。 Z<M?_<3
隨著半導(dǎo)體激光器等各種激光器和 X射線應(yīng)用機器的發(fā)達(dá)，對光學(xué)透鏡(球面、非球面透鏡)和反射鏡、聚光鏡均要求形狀精度在亞微米以上。因此，為適應(yīng)這種精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過原計劃水平的要求，我們開發(fā)出采用出靜壓機械元件和激光式測長系統(tǒng)構(gòu)成的全封閉系統(tǒng)的“SUP一200L”型超精密 NC車床。在微米、亞微米的高精度車床方面，本公司在 VTR業(yè)界和軟驅(qū)動領(lǐng)域銷售了有數(shù)百合以上交付實績。 Zwm2T3@e
1985年6月作為向超精密方面邁進(jìn)第一步，開發(fā)了超精密小型磁盤加工機。下面就以其實績和研究作為基研而開發(fā)的“SUP一200L”(照片1)說明車床的設(shè)計思想和其性能。 SRfnT?u6
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