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1985120	2009-10-08 13:50
什么是保護(hù)氣，鍍膜中的保護(hù)氣起什么作用啊？什么是保護(hù)氣，鍍膜中的保護(hù)氣起什么作用啊？

韋爾銘

2022-12-07 13:55

1、鍍金屬膜時，一般用氬氣作為工作氣體，它是惰性氣體，在真空狀態(tài)下加熱基片時不會發(fā)生氧化作用。2、氧氣一般用于鍍非金屬膜，如TiO2，不必?fù)?dān)心鍍好膜后發(fā)生膜氧化現(xiàn)象。3、氮?dú)馐窃趽Q靶鍍膜時往真空室沖入的氣體，讓真空室內(nèi)壓強(qiáng)和大氣壓強(qiáng)保持相等，才能開蓋換靶鍍另一層膜。

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