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請問有沒有在Silica上刻光波導(dǎo)方面的資料?
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ttxs
2009-11-23 11:04
請問有沒有在Silica上刻光波導(dǎo)方面的資料?
用集成電路的工藝來刻蝕Silicon很容易,除了在設(shè)計方面費點事。
1VXn`O?LW
如果我想用傳統(tǒng)的二氧化硅刻光波導(dǎo)(AWG的那些東西),工藝就不同,應(yīng)為Silica不容易刻。
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