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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 求救,詭異的脫膜狀況,急.... [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁(yè)]

fupi1419 2010-03-16 16:04

求救,詭異的脫膜狀況,急....

最近發(fā)現(xiàn)鍍制完成后的濾光片,經(jīng)過(guò)沸水煮10分鐘后,出現(xiàn)脫膜的情形,但并非膜層全部脫除,經(jīng)由光譜模擬看來(lái)應(yīng)該是只有最外層膜層變薄,請(qǐng)問(wèn)這種情況各位有沒(méi)有遇到過(guò),有解決的方法嗎??? {s2eOL5I|%  
8SupoS  
鍍膜溫度290度,鍍膜材料為T(mén)iO2和SiO2,真空值為9.5*10^-4 Pa,所鍍層數(shù)約40~50層,最外層是SiO2,無(wú)離子源助鍍....... 5m>f1`4JS  
Izfq`zS+\s  
懇請(qǐng)賜教~~~
shenbin 2010-03-16 20:10
我們也有這個(gè)現(xiàn)象 但是我們的溫度是380
xiaoli010102 2010-03-19 21:59
我來(lái)說(shuō)下 不知道對(duì)不對(duì) 僅供參考  在鍍制中溫度要控制好 不應(yīng)過(guò)高是一點(diǎn)  看鍍制40-50層 一般零件是中間厚邊緣薄,本來(lái)就有內(nèi)應(yīng)力  而且還要學(xué)日本去用沸水煮  況且在鍍制中越往后雖然真空度高了 但膜料由于蒸發(fā)角的原因沉積會(huì)受到影響 所以會(huì)變薄  建議零件完工后褪下火或者用離子源輔助
shenbin 2010-03-20 18:03
有什么退火的工藝嗎
cych1984 2010-03-25 15:16
同意2樓的說(shuō)法。
ljq2007 2010-05-05 22:12
最外層不要用SiO2,用Al2O3試試。
朱小朱 2012-02-13 13:43
學(xué)習(xí)了 謝謝
dede 2012-02-15 22:57
學(xué)習(xí)了 謝謝
dede 2012-02-15 22:58
5樓: g(o^'f  
AL2O3防水好點(diǎn)嗎? FlbM(ofY  
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