超精密機(jī)械加工在微光學(xué)元件制造中的應(yīng)用
1.微光學(xué)概述
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1.1.定義與名稱(chēng) zc=G4F01
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微光學(xué)是一門(mén)屬于多門(mén)前沿學(xué)科交叉領(lǐng)域的新興科學(xué)。微光學(xué)借助于微電子工業(yè)技術(shù)的最新研究成果，是國(guó)際上最前沿研究方向之一，并具有廣泛的應(yīng)用前途。微光學(xué)元件（MOC），指面形精度可達(dá)亞微米級(jí)，表面粗糙度可達(dá)納米級(jí)的自由光學(xué)曲面及微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件。自由光學(xué)曲面包括有回轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)非球面（如拋物面、漸開(kāi)面等），和沒(méi)有任何對(duì)稱(chēng)軸的非回轉(zhuǎn)非球面，如Zernike 像差方程曲面。微結(jié)構(gòu)是指具有特定功能的微小表面拓?fù)湫螤睿绨疾邸⑽⑼哥R陣列等，微金字塔結(jié)構(gòu)表面。這些結(jié)構(gòu)決定了對(duì)光線的反射，透射或衍射性能，便于光學(xué)設(shè)計(jì)者優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)，減輕重量，縮小體積。典型微光學(xué)元件如全息透鏡、衍射光學(xué)元件（DOE）和梯度折射率透鏡等，將這些微光學(xué)元件應(yīng)用在各種光電子儀器中，可以使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化。 S-}c_zbl;
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