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光刻機(jī)的薄膜
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zhoufx
2011-01-22 19:45
光刻機(jī)的薄膜
為什么光刻機(jī)中同時用到了增透膜和高反膜？分別是用到了哪部分？
zhenge88
2020-08-02 15:36
透鏡用增透膜，反射鏡用高反膜。
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光刻機(jī)的薄膜
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