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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 請(qǐng)教一下二氧化硅，二氧化鈦的折射率與充氧的關(guān)系 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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007771021	2006-04-27 10:59
請(qǐng)教一下二氧化硅，二氧化鈦的折射率與充氧的關(guān)系本人在使用這兩種膜料的時(shí)候，感覺不是十分的穩(wěn)定，不知道該如何控制充氧量。還有就是，充氧量和他們的折射率的關(guān)系是怎樣的。特來請(qǐng)教一下各位高人。謝謝

wangda	2006-04-27 11:14
這個(gè)主題不錯(cuò) ev_4!+ko 關(guān)注ing~~~~~~~

007771021	2006-04-29 09:17
大家還是要多交流一下嘛

shirong07	2006-06-04 05:29
等待有人回答 @1UC9}> 沒人回答的話我只有自己去試做看看了。。。

ren619	2006-06-07 11:00
二氧化鈦的變化的大一點(diǎn),只要產(chǎn)品不發(fā)黑可以控制的/主要還是真空度對(duì)膜層密度的影響大一點(diǎn).si02沖氧主要是穩(wěn)定真空度.以求密度穩(wěn)定.

yaocs633	2006-06-11 09:33
1.買個(gè)好點(diǎn)的氣體流量控制器,固定流量. 'nO%1BZj+ 2.利用真空計(jì)去控制真空泵的抽速. ~ojH$=K>d 以上兩項(xiàng)做好大概就可以了,不過要花錢哦, KkJK5dZo 那樣的話老板會(huì)心疼的呀!!!!

cl610	2006-08-18 12:35
二氧化鈦的折射率與基片的溫度有關(guān)

雪紛飛	2006-10-20 13:45
ti02 sio2是做ir膜？

抬棺材的	2006-12-14 20:49
如果是sol－gel膜的話，真空系統(tǒng)中的那些污染物不會(huì)把SiO2膜污染么？

wangxingyu	2007-05-10 22:03
請(qǐng)問各位這兩種材料充氧值是多少才算適合呢？如果是鍍塑料鏡片的話

xiawj0951	2007-06-22 07:31
一般而言，氧化鈦充氧太低的話會(huì)由于鍍膜過程中失氧，導(dǎo)致產(chǎn)生吸收。充氧過高的話，折射率會(huì)降低。二氧化硅失氧很少，一般充氧壓力要低些。 NQx`u"= 像TIO2，典型的充氧壓為1.2-1.610-4TORR, 二氧化硅典型的充氧壓為7-910-5TORR

jhshui

2008-11-16 19:05

引用樓主007771021于2006-04-27 10:59發(fā)表的請(qǐng)教一下二氧化硅，二氧化鈦的折射率與充氧的關(guān)系 : ZT\=:X*e
本人在使用這兩種膜料的時(shí)候，感覺不是十分的穩(wěn)定，不知道該如何控制充氧量。還有就是，充氧量和他們的折射率的關(guān)系是怎樣的。特來請(qǐng)教一下各位高人。謝謝

如果充氧量大，Si被充分氧化，則薄膜折射率與化學(xué)計(jì)量比的塊體二氧化硅的應(yīng)該接近，若充氧量小，Si氧化不夠，則薄膜中會(huì)有單質(zhì)Si存在，則折射率會(huì)高一些。另外空隙率的多少也會(huì)影響到折射率。充氧量的大小會(huì)影響到沉積速率，從而影響孔隙率。

gszljw	2008-11-22 23:06
TIO2的充O2量一般為1.2*10-4Torr

lwt2004	2008-12-12 10:09
對(duì)于TiO2來說，導(dǎo)氧多屈折率高，導(dǎo)氧少屈折率低。如果作IRcut的話，導(dǎo)氧多屈折率高，帶寬比較寬。通常情況下，TiO2的導(dǎo)氧量差不多1.0E-2——2.0E-2Pa之間，但是最基本的原則是沒有吸收。Sio2是不用導(dǎo)氧的，屈折率基本沒有變化。

9603128	2009-04-13 20:40
通常情況下，TiO2的導(dǎo)氧量差不多2.0E-2——2.8E-2Pa之間，但是最基本的原則是沒有吸收。Sio2是不用導(dǎo)氧的，屈折率基本沒有變化。

shenbin	2009-04-19 14:09
好問題值得關(guān)注

aimaer	2009-05-13 10:15
SiO2一般不充,Tiox充15~35sccm之間,跟index相關(guān).

dzhhao	2012-03-26 14:39
我有臺(tái)機(jī)器，內(nèi)腔比較大，充40SCCM，真空度還在10-5torr量級(jí)，看IAD的參數(shù)真空度在10-4torr.那得充多少流量才能到10-4量級(jí)？

f4213705	2012-03-27 12:25
充多了，偏薄，充少了，偏后

tomysmith68	2012-03-27 14:02
我們的設(shè)備好像做增透膜的時(shí)候，使用二氧化硅，不需要充氧呀 ww_gG5Fc$

拉比熊	2013-01-13 23:19
通常情況下，TiO2的導(dǎo)氧量差不多2.0E-2——2.8E-2Pa之間，但是最基本的原則是沒有吸收。Sio2是不用導(dǎo)氧的，屈折率基本沒有變化。

luffy17520	2013-03-31 17:00
我們鍍tio2才充氧，sio2不重充氧氣

louyc	2013-05-21 10:03
TIO2 比較復(fù)雜，SIO2好一些

duanyiran	2013-06-09 14:44
溫度升到二百五左右加點(diǎn)氧氣也可以很穩(wěn)定的啊看看你的電子槍功率是不是太高了

ken_jinyan1	2013-06-09 15:21
我們這里 SIO2不充氧，TI3O5充45SCCM左右

ken_jinyan1	2013-06-09 15:22
不知道TI3O5和TIO2在實(shí)際使用中，有什么差別。