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virtuexu

2011-04-22 22:38

《微光刻技術(shù)-發(fā)展歷程與展望》

自從1958年世界上出現(xiàn)第一塊平面集成電路開始算起，在短短的四十多年中，微電子技術(shù)以令世人震驚的速度突飛猛進(jìn)地發(fā)展，創(chuàng)造了人間奇跡。作為微電子技術(shù)工藝基礎(chǔ)的微光刻技術(shù)是人類迄今為止所能達(dá)到的精度最高的加工技術(shù)。