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chenchao 2011-12-18 15:53

平面磁控濺射靶磁場的計算

平面磁控濺射靶磁場的計算摘要:精確分析磁控靶的磁場對優(yōu)化磁控靶的設計非常重要。本文采用有限元法分析了圓形平面磁控靶的二維磁場分布 ,理論計算的結果與特斯拉計的實驗測量相符 ,通過對比兩種不同磁極尺寸的磁控靶的磁場 ,發(fā)現(xiàn)減少磁極的尺寸可以擴展靶表面徑向磁場區(qū)域 ,磁芯上方加圓錐形極靴可以增強磁芯上方徑向磁場。 LpGplD lB  
>t)vQ&:;u  
關鍵詞:磁控濺射;磁場;有限元法
maf999 2012-06-11 09:44
又要錢
maf999 2012-06-11 09:45
不能免費嗎
ggtech 2013-06-17 21:22
謝謝。
scenery 2013-08-03 08:38
好貼!!!!!!!!!
大敏哥 2017-12-26 16:25
學習一下,很少見得資料 ye:pGa w  
hunter999 2018-06-21 14:36
xiexie fenxiang
18073266662 2020-05-27 16:38
VB和分隔符
18073266662 2020-05-27 16:38
看看學學一下
曹英朝 2020-06-06 20:50
tks!look look
tny520 2022-08-22 10:26
學習一下
cwl563590 2024-09-08 11:03
好東西,感謝樓主
西點 2025-05-21 17:31
學習一下
coa520 2025-06-03 20:09
來看那困難
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