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dede 2012-02-15 23:13

關(guān)于Ta2O5用于三層增透膜時(shí)

Ta2O5用于三層增透膜時(shí),零件發(fā)黃,吸收大,其鍍時(shí)參數(shù)是250度,速度為3埃/秒,充氧1E-2,2E-2,均試過(guò),請(qǐng)教過(guò)很多高手,好象均無(wú)有良策?
laohu0504 2012-10-16 13:15
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