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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 關(guān)于鍍膜設(shè)備的問題 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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白開水	2012-03-08 22:18
關(guān)于鍍膜設(shè)備的問題打開擴(kuò)散泵后發(fā)現(xiàn)里面有很多像砂子一樣的東西，是油的質(zhì)量不好還是蒸發(fā)室的膜料被抽到擴(kuò)散泵了？哪位高人給我分析一下？我們用的是高真空硅油。

yzhuang	2012-03-13 14:37
膜料的可能性較大，但是我覺得不影響擴(kuò)散泵的功用。

tomysmith68	2012-03-27 14:37
這些一部分是真空室里的空氣灰塵，還有一部分是膜料，經(jīng)過長時間的高溫后，被碳化了，所以看上去像砂子，在正常使用時不太會影響真空速度，但是每年必須清理一次。

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