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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 離子源的能量主要來自那里？ [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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龍在西工	2012-04-24 10:09
離子源的能量主要來自那里？最近，離子源有些不穩(wěn)定，總是在晶體表面打上無數(shù)的小點點，懷疑離子源能量太大。 Yg1HvSw\ 請教如何調(diào)離子源參數(shù)？

龍在西工	2012-05-04 15:54
自己頂自己

warstorm	2012-05-09 13:40
什么離子源，鍍什么基底 O@LUM{\ 設(shè)備是誰家的啊

jiangguang	2012-07-14 17:44
離子源把電壓調(diào)小。。能量就小。。還有離子源是否潔凈是否打火。。還有電子+中和是否好。。

王少偉	2020-03-07 14:57
燈絲是否清潔干凈并定期更換，離子源內(nèi)部陽極柵是否定期清潔

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