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hankerbb

2006-06-19 10:53

三種激光檢測技術(shù)簡介

一.激光干涉

1.原理

高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來測量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號。