| flashcat |
2012-08-28 15:39 |
光學(xué)非球面的超精密加工技術(shù)及非接觸檢測.PDF
摘要:針對亞微米級及亞微米級以下的光學(xué)硬脆性非球面器件難加工問題,分析了光學(xué)非球面的形狀精度和應(yīng)用,討論了其超精密加工原理和方法及非接觸檢測手段,結(jié)果表明,精密數(shù)控機床、 硬脆性材料延性域加工原理和超精密檢測是光學(xué)非球面超精密加工的技術(shù)保證。 2"Ki5 X-yS9E 關(guān)鍵詞:非球面;超精密加工;光學(xué)器件;非接觸檢測;單點金剛石切削;弧形金剛石砂輪
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