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光行天下 -> 光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn) -> 光刻機(jī)照明系統(tǒng)設(shè)計(jì) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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hhxxgg00

2013-04-02 09:09

光刻機(jī)照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)

隨著微電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，我國迫切需要研制極大規(guī)模集成電路的加工設(shè)備-光刻機(jī)。曝光波長為 193nm 的投影式光刻機(jī)因其技術(shù)成熟、曝光線寬可延伸至 32nm 節(jié)點(diǎn)的優(yōu)勢(shì)已成為目前光刻領(lǐng)域的主流設(shè)備。照明系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成部分，其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實(shí)現(xiàn)離軸照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)為研究方向，對(duì)照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計(jì)與仿真研究。

CAJ文件
長光機(jī)博士論文

xingyu4153	2013-04-02 09:20
長光機(jī)博士論文

drymatini	2013-04-02 09:29
好資料！

moth	2013-04-02 09:41
看看看················

姜守望	2013-04-02 12:11
頂一下，……

yu-xuegang	2013-04-02 12:33
頂一下，……

tmdapple123	2013-04-02 19:53
光幾所！哎

maiwudi	2013-04-02 20:36
看看啦

ciomp1312	2013-04-04 10:02
長光機(jī)博士論文

光學(xué)行當(dāng)	2013-04-04 13:52
看一看

winsword	2013-04-04 18:16
好東西啊

qq41894351	2013-04-04 20:11
不錯(cuò)哦，支持一個(gè)

q5909811	2013-04-04 20:49
呵呵挺好的

mumapiaoyun	2013-04-04 21:36
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)，不錯(cuò)的東西

mumapiaoyun	2013-04-04 21:36
怎么看不了呢，呵呵

wxb5115	2013-04-05 21:31
好文要頂

sudax	2013-04-06 12:52
看看。。。

sudax	2013-04-06 12:53
sudax:看看。。。 (2013-04-06 12:52) kn"x[{d xdM#>z`; kankan。。。

_yyyang	2013-04-06 22:19
多謝分享~

nishisheiyae	2013-04-08 11:37
謝謝樓主分享支持

kevien	2013-04-08 12:01
學(xué)習(xí)一下

miahoho	2013-04-08 16:14
學(xué)習(xí)，相同的技術(shù)背景哦

zhangnengyi	2013-04-08 21:46
頂一下，學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)！

ekisyou	2013-04-09 08:06
頂一下。。。。。

娜娜紫	2013-04-09 09:03
....不許灌水

wushenjian	2013-04-09 13:24
看看怎么樣呀

jccqqqqq	2013-04-09 14:38
我來學(xué)習(xí)下

wjf_85	2013-04-09 15:59
shadonddong

ljh289518	2013-04-11 22:32
好東西

adai22	2013-04-30 00:03
長春光機(jī)所哦，牛逼

121331768	2013-05-07 18:39
學(xué)習(xí)了。

雨雪霏霏	2013-05-07 23:48
哎，又見師兄的博士論文，你們那里搞的

ciomplj	2013-05-09 22:05
我想看看，謝謝了！

hotter4760	2013-05-16 15:49
用戶被禁言,該主題自動(dòng)屏蔽!

甲蟲	2013-06-04 14:41
看一看

將心向火星	2013-07-12 18:50
看看什么水平

bfzs2012	2013-08-14 14:41
學(xué)習(xí)一下

jianjun123	2013-08-20 15:53
學(xué)習(xí)一下........

chengzheng	2013-08-31 22:54
學(xué)習(xí)下，謝謝

aircat	2013-09-26 14:31
瞭解一下這系統(tǒng)