| qjs69 |
2006-07-15 20:30 |
光刻光學(xué)碼盤、碼尺、分劃板、標(biāo)尺、光柵、鍍盤、鑒別率板等
本公司美國光刻圖形發(fā)生器利用光刻正膠或負膠,在感光板上制作用于加工集成電路的高精度、高品質(zhì)掩膜版,也可根據(jù)需求制作優(yōu)質(zhì)的光學(xué)碼盤、碼尺、分劃板、標(biāo)尺、光柵、鍍盤、鑒別率板等精密光學(xué)零件的母板和任意圖形。 ):'wxIVGI 光刻機性能參數(shù): ?OFa
Q 可加工最小線寬: 直接光刻 2.5 微米;重復(fù)步進 1 微米 gZ4'
w`4r 最大加工范圍: 152毫米 × 220毫米 ).;{'8Q 定位精度: 0.38微米 <4;
nq~ 最小可控制增量: 0.1微米 7.<jdp 8{jXSCP# qjs69@126.com 13057610151-錢先生
|
|