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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 制備高抗損傷閾值ar膜用什么方式比較好？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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weeeee1984	2013-08-18 14:24
制備高抗損傷閾值ar膜用什么方式比較好？ 2GW/cm2以上，用IAD還是濺射？順便推薦下廠(chǎng)家~ ]{,=mOk 光學(xué)菜鳥(niǎo)，請(qǐng)大神指教~~

280870377	2013-08-27 12:00
得用APS等離子體，不過(guò)可以先嘗試下濺射源

ken_jinyan1	2013-08-29 09:42
順便問(wèn)下，200W激光器鍍SIO2/TIO2 5層AR膜，不使用離子源能行嗎？