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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 蒸發(fā)鋁 - 半透鏡 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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kaho_tam	2013-11-06 15:20
蒸發(fā)鋁 - 半透鏡我想在玻璃上e-beam蒸發(fā)一層鋁當(dāng)半透鏡。請(qǐng)問(wèn)一般要多厚，太薄~7nm的話(huà)會(huì)不會(huì)從機(jī)器一拿出來(lái)就會(huì)產(chǎn)生氧化呢？

raymond	2013-11-06 16:09
可以鍍保護(hù)膜，通常鋁反射膜都有。

wangguofeng	2013-11-06 16:59
進(jìn)來(lái)看看，學(xué)習(xí)一下。

mumapiaoyun	2013-11-06 20:00
金屬鋁膜做為反射膜有相關(guān)的國(guó)家鍍膜標(biāo)準(zhǔn)，你說(shuō)的作為半透膜應(yīng)該是紅外光譜范圍吧，可以再鍍一層介質(zhì)膜作為保護(hù)膜。

luffy17520	2013-11-21 15:31
鍍10nm左右吧，然后鍍個(gè)sio2保護(hù)膜

crl0129	2013-11-26 16:37
鍍個(gè)sio2保護(hù)膜

jimmy_	2020-12-28 10:24
鍍完后有沒(méi)有針孔？

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