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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 如何計(jì)算材料的折射率 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

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kevin980828 2005-09-03 22:26

如何計(jì)算材料的折射率

  在蒸鍍過程中材料的折射率怎樣能夠準(zhǔn)確算出,我知道折射率跟真空度.沉積速率.充氧量有關(guān),其它的還有嗎?那如何計(jì)算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,請(qǐng)各位大俠指教.謝謝!!!
flyinlove79 2005-09-04 11:07
蒸度鍍過程中適時(shí)手動(dòng)計(jì)算材料的折射率比較困難啊,個(gè)人認(rèn)為必須測(cè)準(zhǔn)適時(shí)的膜層厚度和反(透)射率,或者是在極值點(diǎn)處的反(透)射率,再利用公式進(jìn)行計(jì)算,但感覺不怎么實(shí)用。現(xiàn)在的鍍膜設(shè)備,已經(jīng)可以自動(dòng)計(jì)算并顯示出適時(shí)的折射率了。 <a& $D  
  折射率還和基片溫度,沉積角度,膜層的微觀結(jié)構(gòu)有關(guān)。 =gO4B-[  
  折射率測(cè)量一個(gè)是用橢偏儀直接測(cè)量,一個(gè)是用分光光度計(jì)測(cè)單層膜在奇數(shù)個(gè)極值厚度處的反(透)射率,再用公式計(jì)算的間接測(cè)量。
wendzb 2006-01-05 11:18
能詳細(xì)說下單層膜在奇數(shù)個(gè)極值厚度處透射率用公式計(jì)算的間接測(cè)量的過程么??
wangda 2006-04-06 14:14
就是就是,知道的,與大家分享一下啊
tangzs 2006-05-05 23:11
鍍個(gè)較厚一點(diǎn)的單層膜,根據(jù)極值點(diǎn)(膜比基底折射率高的看極小值,膜比基底折射率低的看極大值,并且選取長(zhǎng)波段的極值點(diǎn),因?yàn)樵陂L(zhǎng)波段折射率色散小)估算出膜層的折射率,該點(diǎn)的反射率,根據(jù)薄膜光學(xué)原理,相當(dāng)于單個(gè)四分之一光學(xué)厚度的膜厚(單層四分之一光學(xué)厚度的薄膜等效折射率為n^2/ng,n為膜的折射率,ng為基底折射率)的反射率。算出折射率后,再判斷極值級(jí)次,根據(jù)這個(gè)級(jí)次就可算出膜厚。現(xiàn)在舉一例子加深理解。 \C"hL(4-  
ZY8:7Q@P>  
4u7^v1/  
此主題相關(guān)圖片如下: 'A'[N :i  
無法傳圖,大家可用TFC設(shè)計(jì)一個(gè) Glass/6.451H/air的曲線對(duì)照著看,H的折射率為1.91,入射和出射介質(zhì)均為air,主要為理解下面的分析用。 Z (C0+A\  
=dY!-#yg!  
8]l(D  
圖中基底折射率為1.52,該曲線的透過率極大值是空白玻璃的透過率,說明鍍的膜沒有起增透作用,判斷膜的折射率應(yīng)該大于基底的折射率,所以我們要選極小值點(diǎn)的反射率來分析薄膜的折射率(選極大值等于在分析空白玻璃,因?yàn)槭桥紨?shù)個(gè)四分之一膜厚,等同虛設(shè)層),為選色散小的區(qū)域,可以找到最長(zhǎng)波段的極小值為1184nm,透過率為80.08%。設(shè)空白基底的單面透過率為T1,鍍有膜層側(cè)的單面透過率為T2,總和透過率,也就是所測(cè)透過率為T,則有關(guān)系式1/T=1/T1 + 1/T2 - 1(大家可以自己推算,就是簡(jiǎn)單的等比數(shù)列疊加,可先算出R1,R2和R的關(guān)系式 R=(R1+R2-2R1R2)/(1-R1R2),然后用1-Rx代替Tx),在這兒T1=95.742%, T=80.08%, T2為未知數(shù),代入后得出T2=83.037%,于是R2=1-T2=16.963%,R2=(n^2/ng-1)^2 / (n^2/ng +1)^2 ,n=sqrt(ng*(1+sqrt(R2))/(1-sqrt(R2) )=1.910,這就是膜層的折射率 mN1n/LNi  
tIo b  
然后來算膜厚。首先判斷透過率曲線的級(jí)次,在腦中要明確的是,當(dāng)膜的折射率大于基底時(shí),所有的極小值都是奇數(shù)個(gè)四分之一膜厚,當(dāng)膜的折射率小于基底時(shí),所有的極大值都是奇數(shù)個(gè)四分之一膜厚,根據(jù)前面分析,這兒當(dāng)然是極小值啦。如果沒有折射率色散,相鄰兩個(gè)極值之間 的波長(zhǎng)位置的比值應(yīng)為k/(k+1), k=1,3,5,7....(設(shè)第一個(gè)極值位置波長(zhǎng)為λ1,相鄰的另一個(gè)極值位置波長(zhǎng)為λ2,這里假設(shè)λ2的級(jí)次高于λ1,所以λ1>λ2,則kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,兩者比較后,就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我們來看891.0nm和1184nm這兩個(gè)極值,1184/891=1.328, 所以判斷k=3,于是根據(jù)kλ1/4=nd 有 d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。 yjIA`5^  
x\K,@  
說明:這種方法只是粗略地估計(jì)膜層的折射率和厚度,因?yàn)槲覀兒雎粤苏凵渎实纳ⅲ埠雎粤吮∧ぴ诔练e過程中的折射率非均勻性。要精確測(cè)量還是要通過帶有修正因子的程序擬合,或且專門儀器測(cè)量。
wuhaifei 2006-05-16 10:45
謝謝樓上的 向您學(xué)習(xí)
flyinlove79 2006-05-17 10:26
支持4樓,說的真詳細(xì)啊
熊熊 2006-06-02 06:19
厲害,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,
夢(mèng)真光學(xué) 2006-06-02 09:30
收獲頗多 qR9!DQc'  
不愧是高手阿 !!!!!!!!!!!!!
夢(mèng)真光學(xué) 2006-06-02 09:36
很好!!!!!!!!!!!
yufe16 2006-06-02 16:53
大師啊,佩服!
yaocs633 2006-06-11 09:51
tangzs你的理論非常不錯(cuò), 5GDg_9Bz  
可太麻煩,現(xiàn)在一般都鍍出Glass/6.451H/aIR後,用850光譜儀測(cè)出光譜, =!DpW 乌兰浩特市| 当雄县| 古浪县| 太仆寺旗| 弥勒县| 自治县| 襄城县| 义马市| 禄劝| 舒城县| 沾化县| 图们市| 永康市| 资讯| 唐海县| 横山县| 苏尼特左旗| 商都县| 阿鲁科尔沁旗| 云龙县| 涿鹿县| 石狮市| 锦州市| 萨嘎县| 布尔津县| 长岭县| 梅河口市| 寿宁县| 三原县| 衡南县| 桂平市| 石家庄市| 涟源市| 若羌县| 阿拉善盟| 乌鲁木齐县| 高碑店市| 嵩明县| 忻州市| 杭锦后旗| 宜良县|