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2014-03-13 10:58 |
鍍膜厚度監(jiān)控
在鍍半導(dǎo)體激光器巴條和單管時(shí)，每次鍍到TI3O5時(shí)，鍍膜速率就會(huì)忽高忽低，監(jiān)測(cè)用晶振的壽命也會(huì)一會(huì)多一會(huì)少（比如一會(huì)98.55%過(guò)一會(huì)又會(huì)變成98.56%）。鍍其他材料時(shí)都很正常（AL2O3，SIO2），已經(jīng)把很多可能都排除了（換晶振，改變溫度等）。現(xiàn)在只是在轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)速低的情況下正常，轉(zhuǎn)速高了就不正常了。。。。請(qǐng)教各位前輩，這可能是什么原因啊
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