| chen1210 |
2014-11-15 14:40 |
大口徑光學(xué)元件微納加工與檢測技術(shù)研究與應(yīng)用.pdf
大口徑光學(xué)元件微納加工與檢測技術(shù)研究與應(yīng)用.pdf，下吧。 5eiKMKW[
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摘要：超精密金剛石砂輪磨削是大口徑先進光學(xué)元件微納加工的主要技術(shù)，是實現(xiàn)確定性批量加工的重要保證，以實現(xiàn)高精度、高效率、高自動化程度加工為目的，闡述了大口徑光學(xué)元件微納加工與檢測的加工技術(shù)系統(tǒng)，詳細分析高精度加工設(shè)備及工藝控制、大尺寸檢測、加工環(huán)境監(jiān)控、快速拋光、表面織構(gòu)化等研究應(yīng)用情況。 7`f%?xVn0
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