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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> PMMA基板上鍍膜，出現(xiàn)膜裂和脫膜，求大神指點(diǎn)！ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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即興以來

2015-08-01 20:15

PMMA基板上鍍膜，出現(xiàn)膜裂和脫膜，求大神指點(diǎn)！

現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜，使用Leybold真空鍍膜機(jī)，電子槍蒸發(fā)方式，選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜材料；會(huì)出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象，使用3M膠帶拉，膜層幾乎全部脫落；鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理，在真空室中加熱到50℃，然后停止加熱，開始鍍膜，鍍膜整個(gè)過程中溫度未超過50℃。
求大神指點(diǎn)，如何改善工藝才能解決膜裂和脫膜的問題，非常感謝！

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yzhuang	2015-08-19 14:06
不用離子源嗎？用了離子源后50度咋可能控制在50度？除非設(shè)置離子源的功率特小，要不離子源的溫升效果也很明顯呀

即興以來	2015-08-19 14:48
離子源的功率較低，所以整個(gè)鍍膜過程中溫升不明顯。

dumoty	2015-08-21 13:20
鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。

woshiyiyun	2015-08-30 17:46
膜層與基底結(jié)合力不夠

即興以來	2015-09-06 20:42
dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20) )8:Ltn% !A )2<<4 請(qǐng)問鍍膜前怎么清洗，嘗試過用酒精，不行！ CD'.bFO^+T 謝謝！

即興以來	2015-09-06 20:43
woshiyiyun:膜層與基底結(jié)合力不夠 (2015-08-30 17:46)