| 寒夜 |
2016-03-13 22:44 |
大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設計
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摘要：設計了一款口徑為30.48cm高精度斐索激光干涉儀參考鏡， 其犉數(shù)為0.82， 參考面半徑為224.99mm。所設計的參考鏡其透射波前峰谷值為0.095λ， 均方根值為0.028λ， 透射波前斜率最大值為11μrad 。理論分析了參考鏡的回程誤差對面形檢測精度的影響， 其最大值為0.29nm。 利用Zemax光學設計軟件對參考鏡進行了仿真分析， 仿真與實驗結果表明， 該標準鏡頭可滿足精度1nm的元件面形檢測需求。
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