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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 請(qǐng)問關(guān)於MGF2之異常現(xiàn)象 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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rexchou

2016-04-29 19:18

請(qǐng)問關(guān)於MGF2之異常現(xiàn)象

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發(fā)現(xiàn)有水滴狀的色斑在玻璃表面

若無鍍MGF2則無此現(xiàn)象，推估為MGF2造成

不知道是為什麼，且放一段時(shí)間會(huì)消失(約3~7天)，有人有預(yù)過這種情況嗎??

希望有人可以告訴我，或者提供意見交流

P.S.

AR與MGF2皆為EB製程

膜層結(jié)構(gòu)為 G / L / H / L / H / L / M

起鍍真空為5E-4pa

yangyangyang	2016-05-05 22:58
從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下

rexchou

2016-05-09 17:50

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下 (2016-05-05 22:58) oNXYBeu+

我用的材料為石英

您說的沒錯(cuò)

最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象

已經(jīng)確認(rèn)放氣時(shí)間拉長無法改善此問題

rexchou

2016-05-09 17:51

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下 (2016-05-05 22:58) wk'(g_DP

我用的材料為石英

您說的沒錯(cuò)

最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象

已經(jīng)確認(rèn)放氣時(shí)間拉長無法改善此問題

jakzhou	2016-05-24 17:40
好東西

jakzhou	2016-05-27 11:11
什么呀

賈松山	2016-05-27 12:51
氟化鎂形成的膜層結(jié)構(gòu)是易吸附水分子的，舉例說當(dāng)最外層氟化鎂少時(shí)，用純水超洗可以把分光變OK,把你的加工條件濕度看下，

jakzhou	2016-06-02 09:54
ipnuk 泥漿中

長江	2016-07-28 21:15
是個(gè)好方法

囊中蓄乾坤	2017-04-07 12:21
好東西，學(xué)習(xí)了

奔跑的小駿馬	2017-07-22 10:33
學(xué)習(xí)了，不過最外層MgF2對(duì)后續(xù)加工可能影響較大，會(huì)出現(xiàn)膜層滲水等現(xiàn)象。

愛哭的云彩	2017-08-29 22:54
jakzhou:好東西 (2016-05-24 17:40) O1]XoUH< </fTn_{2s8 學(xué)的很好

愛哭的云彩	2017-08-29 22:55
rexchou:我用的材料為石英 KEr?&e 您說的沒錯(cuò) 7aNoqS+ ....... (2016-05-09 17:51) h"N#/zQ D <Fl7QAb 謝謝專家門的意見

愛哭的云彩

2017-08-29 22:55

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時(shí)候羅茨泵和機(jī)械泵接著抽2分鐘實(shí)驗(yàn)一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實(shí)驗(yàn)一下 (2016-05-05 22:58) : ]JsUb{YK

原來是這樣的

愛哭的云彩	2017-08-29 22:55
賈松山:氟化鎂形成的膜層結(jié)構(gòu)是易吸附水分子的，舉例說當(dāng)最外層氟化鎂少時(shí)，用純水超洗可以把分光變OK,把你的加工條件濕度看下， (2016-05-27 12:51) DWH)<\? Kq0hT4w 還可以這樣玩

lgc1316	2020-09-28 13:28
MgF2 放最外層的在相同AR總層數(shù)下可以得到更低的模擬結(jié)果；你可以試試看做鍍率實(shí)驗(yàn) 應(yīng)該可以得到正解或是試著從新優(yōu)化降低mgf2厚度

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