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光學(xué)檢測、光學(xué)測量與光機(jī)裝調(diào)
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光學(xué)自由曲面的檢測方法
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yy08
2017-03-08 10:25
光學(xué)自由曲面的檢測方法
摘要:針對自由曲面光學(xué)元件離軸像差小,應(yīng)用廣泛,但檢測難度大,加工精度不夠高等特點(diǎn),對現(xiàn)行的自由曲面光學(xué)檢測方法進(jìn)行了分析。提出了在自由曲面光學(xué)元件的不同加工階段宜采用不同的檢測手段,根據(jù)加工的步驟依次采用三坐標(biāo)機(jī)、輪廓儀、光學(xué)干涉測量等方法為好。介紹了子孔徑拼接技術(shù)的發(fā)展,敘述了利用計(jì)算全息 (CGH)和反射光柵攝影測量法檢測光學(xué)自由曲面等兩種有著良好發(fā)展前景的方法。最后 ,給出了利用 CGH檢測三次位相板的實(shí)例。
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