| ouyuu |
2017-09-12 12:43 |
另外，要做單層時，先確認(rèn)一下你的分光儀測量范圍和手頭的光學(xué)軟件是否可以用，里面有多少材料庫，不夠的話去查一下自己做材料。（推薦麥克勞德，當(dāng)然TFC也可以） } O<=!^Y;A
一般單層厚度在測量范圍內(nèi)3～5個PEAK（用光學(xué)軟件模擬一下就可以知道）。 I|n<B"Q6^
SiO2一般折射率變化不會太大，所以直接用光學(xué)軟件的折射率也可以。 k3}|^/bHJ
（還有就是有些分光儀分辨率不高，做出來的SiO2曲線毛刺很多，反倒不如軟件里的折射率準(zhǔn)確） ,L6d~>=41
做的話多用幾個坩堝，一個坩堝做很厚的膜層不好（打坑深了分布變了修正板就不準(zhǔn)了）
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