大直徑平凸透鏡面形的陰影檢驗(yàn)法
本文分析了使用樣板檢測大口徑平凸透鏡的弊端，細(xì)述了用刀口儀檢測大直徑凸面透鏡的相關(guān)計(jì)算方法和操作過程，并用實(shí)例加以證明。 '7Me p
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光學(xué)檢測中刀口儀在對球面光學(xué)元件的檢測一般局限于對凹反射鏡的面形及曲率進(jìn)行檢驗(yàn)，對于凸透鏡的面形檢驗(yàn)一般利用光學(xué)樣板進(jìn)行判定，但光學(xué)零件樣板的最大直徑為130mm，對于直徑在140mm以上的平凸透鏡進(jìn)行檢驗(yàn)有一定局限性降低了檢驗(yàn)精度，如圖1所示。其次用樣板直接接觸元件表面容易對光學(xué)元件表面造成破壞，此時(shí)如果借助于一些大型的光學(xué)檢測儀器，例如 zygo 干涉儀，利用此類大型儀器的優(yōu)勢在于檢測的結(jié)果精密，光學(xué)元件的檢測結(jié)果可以量化，但是由于zygo干涉儀的價(jià)格昂貴，體積較為龐大，且對周圍的檢測環(huán)境要求較高，種種因素大幅提高光學(xué)檢測的成本，在這種情況之下我們提出利用便于攜帶、價(jià)格低廉的刀口儀對凸透鏡反射面面形與元件內(nèi)部材料均勻性進(jìn)行的檢測。本文基于以上幾點(diǎn)對用刀儀對凸透鏡的內(nèi)反射檢驗(yàn)進(jìn)行了詳細(xì)闡述。 C}mYt/
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