| ttb2016 |
2017-11-16 12:57 |
適用顯微鏡質(zhì)量測試的高分辨率測量鏡頭設(shè)計
利用Zemax光學(xué)設(shè)計軟件設(shè)計了一款適用于光學(xué)成像尺寸為38 mm的互補金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）型工業(yè)相機的高分辨率測量鏡頭，該工業(yè)相機用于自動化定量分析檢測顯微鏡像差。通過數(shù)碼圖像處理的方式去評判顯微鏡物鏡性能的好壞。在滿足性能要求基礎(chǔ)上，對普通的測量鏡頭結(jié)構(gòu)加以優(yōu)化，使得測量鏡頭擁有非常高的分辨率。該鏡頭焦距為36 mm，后工作距約為32 mm，視場像面高度為36 mm，在90 lp/mm處，中心視場調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）值大于0.45，邊緣視場MTF值大于0.25。
|
|