微機械技術在工業(yè)、農業(yè)、醫(yī)療、軍事等領域的應用日益廣泛。目前，微機械的加工方法有：由硅平面技術衍生的微蝕刻加工，由特種加工衍生的微細特種加工，由切削加工衍生的微細切削加工。
0Qz
\"gr HO>uS> + 微型機電系統(tǒng)技術衍生于微電子技術，由于這種歷史原因，硅微細加工在微機械制造中占據(jù)主要地位，硅微細加工具有批量制作、預組裝及容易與微電子電路集成的技術特點，適合于微型傳感器的制作，但成型結構形狀有限，不利于微致動器的制作。
R0WJdW # 9^n
]qg^ 可以進行微細加工的特種加工方法主要有電火花加工、電化學加工、超聲加工、激光加工、離子束加工、電子束加工等。這些特種加工方法有的設備昂貴、對環(huán)境要求較高，有的加工速度偏低。對于加工三維實體結構的零件來說，單獨使用特種加工方法并沒有優(yōu)勢可言。
H{8\<E:V+} d
{4br 可以用來進行微細加工的切削方法有：微細車削、微細銑削、微細鉆削、微細磨削、微沖壓等。
[(XKqiSV ?a %
u=G 本文將介紹微機械制造中的切削加工方法及設備的研究進展情況。
{<lV=0] 'E9jv4E$n 1 微細車削
e
永新县|
北川|
安徽省|
麻阳|
青神县|
无为县|
霍邱县|
淳安县|
精河县|
宣城市|
连城县|
秦皇岛市|
大同县|
集安市|
扶余县|
新余市|
区。|
卓尼县|
崇礼县|
卓资县|
泗阳县|
铁岭县|
若尔盖县|
温州市|
溧阳市|
海安县|
鹤岗市|
峨山|
西乌珠穆沁旗|
丁青县|
镇平县|
威宁|
汝阳县|
乐业县|
高台县|
广饶县|
阳信县|
宁海县|
尚志市|
潮安县|
奈曼旗|
