一般情況下，如果是一個(gè)超寬帶增透膜，就增透效果來(lái)說(shuō)，最好的低折射率材料MgF2，但是關(guān)于MgF2的鍍膜，溫度基本上要300攝氏度左右最佳，參考資料是不能加離子源，300攝氏度鍍膜抽真空時(shí)間會(huì)變得較長(zhǎng)，且如果高折射率材料是Ta2O5的話(huà)，對(duì)于使用電子槍蒸發(fā)而言，必須進(jìn)行離子源輔助才會(huì)得到基本無(wú)吸收薄膜，如果高折射率材料是Ti3O5的話(huà)，300攝氏度可能會(huì)有結(jié)晶，吸收也有可能會(huì)增加。這就跟MgF2的鍍膜產(chǎn)生了沖突，我曾經(jīng)進(jìn)行過(guò)加APS源嘗試，但無(wú)論怎么改變?cè)吹?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=參數(shù)',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_1">參數(shù)，還是避免不了吸收，我想看看大家是怎么做的，希望能得到一個(gè)最佳的做法。

可以試下離子源（Ar+O2)， >&1
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離子源先只用Ar，等鍍膜到了一定厚度（比如說(shuō)1nm）再用部分的O2。 Jgf73IX[  

我們公司鍍膜也有吸收  把鍍膜后產(chǎn)品烘烤下 吸收會(huì)減弱很多  目前是這樣做的

用鈦酸鑭搭配氟化鎂

如果你只有APS源的話(huà)，能量最高也就200V了， {x3"/sF  
其實(shí)并不適用TiO2。 dS7?[[pg9  
換種材料吧

學(xué)習(xí)中

H4-MGF2這兩種藥材可以做，或者用H4-SIO2這兩種也可以，你加我微信詳細(xì)的工藝溝通一下：17873333033