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    [分享]GLAD中光刻成像系統(tǒng)的建模 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-03-15
    關鍵詞: GLAD成像建模
    概述 UI"UBZZ$  
    6VVxpDAi:  
    系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設計的中繼鏡組成。光源成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚,在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側波瓣。如下圖所示: >I/@GX/  
    qYJ<I'Ux O  
    '&e8;X  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 a"X h  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣,僅部分通過中繼入口瞳孔 x;<0Gg~jB  
     寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣,更容易通過中繼入口瞳孔 = pn;b1= 长白| 渝中区| 炎陵县| 枣阳市| 余江县| 屏山县| 建瓯市| 当阳市| 襄樊市| 阜南县| 阿坝| 龙州县| 岳普湖县| 曲水县| 德保县| 静海县| 绥芬河市| 姚安县| 沈阳市| 肃南| 措美县| 江山市| 荣昌县| 新巴尔虎右旗| 石屏县| 白河县| 惠来县| 昭平县| 忻州市| 昭觉县| 张掖市| 星子县| 军事| 咸阳市| 高邮市| 新平| 卢湾区| 百色市| 安国市| 石景山区| 平顺县|