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    [分享]GLAD中光刻成像系統(tǒng)的建模 [復制鏈接]

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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-03-15
    關鍵詞: GLAD成像建模
    概述 S*h^7?Bu  
    DX>LB$dy?  
    系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設計的中繼鏡組成。光源成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚,在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側波瓣。如下圖所示: N{HAWB{  
    [+dCA  
    Xpg -rxX  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產生旁瓣 BN CM{}e  
     窄條產生寬的旁瓣,僅部分通過中繼入口瞳孔 xOj#%;  
     寬條產生較窄的旁瓣,更容易通過中繼入口瞳孔 B]G2P`sN  
     部分通過旁瓣會產生部分解析 = 广南县| 鸡东县| 原阳县| 泰来县| 安康市| 丰宁| 惠来县| 四会市| 栾川县| 荥阳市| 万源市| 卫辉市| 尚义县| 灌云县| 会昌县| 张家界市| 嘉义市| 古田县| 达拉特旗| 新龙县| 成武县| 黑龙江省| 南川市| 浙江省| 金平| 德钦县| 黔西| 邢台县| 大姚县| 金阳县| 年辖:市辖区| 航空| 巴楚县| 衡南县| 崇左市| 周口市| 建瓯市| 英吉沙县| 崇仁县| 祥云县| 盈江县|