摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié) .TZ0FxW  
波前方差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計算方差、標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點。后兩個量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多色的，從所請求的色差或主色差的主要光線點測量。這是對衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似，只要OPD誤差小于一個波長。對于畸變非常重要的透鏡，比如顯微光刻物鏡，我們希望控制這個位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標(biāo)。本節(jié)描述的像差允許我們這樣做。格式是: r
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