波前差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計(jì)算方差、
標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點(diǎn)。后兩個(gè)量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多
波長(zhǎng)的，從所請(qǐng)求的色差或主波長(zhǎng)色差的主要
光線點(diǎn)測(cè)量。這是對(duì)
衍射圖樣的峰值位置的一個(gè)有用的近似，只要OPD誤差小于一個(gè)波長(zhǎng)。對(duì)于畸變非常重要的
透鏡，比如顯微光刻
物鏡，我們希望控制這個(gè)位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個(gè)更常見(jiàn)的目標(biāo)。本節(jié)描述的
像差允許我們這樣做。格式是:
j|f$:j M TAR WTA { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
O>^0} M TAR WTA { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
%2=nS<kC M TAR WTA { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
N
3)OH6w" M TAR WTA { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
pPcn
F`A M TAR WTA { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS
ms'!E) M TAR WTA { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS
Pg Z~of& 它們?cè)贏ANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點(diǎn)到像點(diǎn)的距離，接近衍射圖樣的峰值。參考點(diǎn)是在請(qǐng)求的色差中，或如果請(qǐng)求多波長(zhǎng)“M”則在主波長(zhǎng)色差中，在請(qǐng)求的視場(chǎng)角處的主光線點(diǎn)。WVAR返回波前差，WSTD返回方差的平方根，即波前的標(biāo)準(zhǔn)偏差。
"M*Pt IPX和IPY是相關(guān)的，但是不同。在這里，程序找到像點(diǎn)，然后也找到軸上物體的對(duì)應(yīng)點(diǎn)。返回值是X和Y的差值，單位是透鏡單位。因此，如果軸上像是完美的，計(jì)算返回在請(qǐng)求的視場(chǎng)處像點(diǎn)的位置。如果軸上像點(diǎn)有非零坐標(biāo)(例如，由于軸向彗差)，從該點(diǎn)而不是從頂點(diǎn)測(cè)量返回值。因此，為了控制畸變，目標(biāo)是所需的圖像比例與IPX或IPY返回的值之差。
ZFy>Z:&S, 用VARIANCE進(jìn)行計(jì)算，追跡大約NRYS條光線并找到所需的量。
