波前差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計(jì)算方差、
標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點(diǎn)。后兩個(gè)量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多
波長的，從所請(qǐng)求的色差或主波長色差的主要
光線點(diǎn)測(cè)量。這是對(duì)
衍射圖樣的峰值位置的一個(gè)有用的近似，只要OPD誤差小于一個(gè)波長。對(duì)于畸變非常重要的
透鏡，比如顯微光刻
物鏡，我們希望控制這個(gè)位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個(gè)更常見的目標(biāo)。本節(jié)描述的
像差允許我們這樣做。格式是:
sy]hMGH:3W M TAR WTA { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
V'q?+p]
a M TAR WTA { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
;}dvc7 M TAR WTA { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
#aua 6V!" M TAR WTA { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
N8E M TAR WTA { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS
KL<,avC/ M TAR WTA { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS
hE;|VS do 它們?cè)贏ANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點(diǎn)到像點(diǎn)的距離，接近衍射圖樣的峰值。參考點(diǎn)是在請(qǐng)求的色差中，或如果請(qǐng)求多波長“M”則在主波長色差中，在請(qǐng)求的視場(chǎng)角處的主光線點(diǎn)。WVAR返回波前差，WSTD返回方差的平方根，即波前的標(biāo)準(zhǔn)偏差。
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