synopsys光學(xué)設(shè)計(jì)軟件中的鬼像控制 qYQl,w
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鬼像是由一個或多個折射面反射引起的。SYNOPSYS可以評估和控制兩種類型的鬼像:GHOST程序可以確定在像面上哪個表面組合對鬼像負(fù)責(zé),BGI可以評價在透鏡系統(tǒng)內(nèi)的另一個位置處形成的鬼像的特性。 |YWD8 +
為了從選擇的近軸鬼像控制圖像的彌散斑的大小,輸入 Ic<2QknmP
M TAR WTA PGHOST JREFH JREFL Dx?,=~W9
M TAR WTA PUGHOST JREFH JREFL O=t_yy
第一個是PGHOST,用于控制物空間中一個點(diǎn)的近軸鬼像的彌散斑大小。這是通常的鬼像情況,其中在視場的一部分中的亮物體在另一部分中形成鬼像。第二個是PUGHOST,用于控制入瞳上的點(diǎn)的鬼像的大小。 Nh|uO?&C6
假設(shè)由表面15和表面9的反射產(chǎn)生的鬼像在像平面處清晰地聚焦。鬼像越小越清晰,可以通過增加彌散斑的大小來降低它的強(qiáng)度。假設(shè)想讓鬼像的彌散斑半徑不小于5 mm。以下是如何在AANT文件輸入中將其定位為這個值: &6!)jIWJ
M 5 1 A PGHOST15 9 CK@@HSm}l
由于較大的鬼像不是缺陷,因此提供單側(cè)像差常常較好: eo?bL$A[s
LL 5 .1 4 1 *?vCC+c
A PGHOST 15 9 O0v}43J[
在這里,如果鬼像半徑為5.0,缺陷值為0.1;如果半徑為4.0,缺陷值為1.0。注意,像差的返回值總是正的,因此目標(biāo)值也應(yīng)該是正的。 q.bSIV|
如果使用此特性進(jìn)行優(yōu)化,請不要打開開關(guān)47。該選項(xiàng)用于對單個鬼像進(jìn)行詳細(xì)分析,如果該開關(guān)設(shè)置用于優(yōu)化,則會產(chǎn)生大量不必要的顯示輸出。 9.-S(ZO
與GHOST命令類似,如果開關(guān)49打開(但不用于PUGHOST),該特性將通過所估計(jì)的衍射斑半徑增大所計(jì)算的近軸鬼像半徑。 RtS+<^2a;
也可以控制在鏡頭系統(tǒng)中形成的鬼像的大小(一個"隱藏的鬼像")。這在高功率激光系統(tǒng)中是有用的,來自透鏡表面反射的鬼像如果清晰地聚焦可能會對元件造成損傷。這種控件的輸入是 !;A\.~-!G
M TAR WTA BGI JREFL JHOT $h"\N$iSq
JREFL是反射光線的表面,而JHOT則是想要監(jiān)視光通量來防止損傷的表面。這種控制方式也推薦使用LL形式。因此,要確保從表面41反射的鬼像的光束半徑在表面9大于0.2個單位,可以在評價函數(shù)中輸入 PC8Q"O
LL 0.2 .01 0.15 A BGI 41 9 Bsvr?|L\
這個例子給出了0.01的懲罰如果鬼像半徑為0.2,如果鬼像半徑為1.5,則懲罰為5。注意,該控制應(yīng)用于彌散斑半徑的絕對值,因此該程序假設(shè)一個大的正值或負(fù)值,隨情況需要。 cuITY^6
還要注意,PGH和BGI控制都是近軸量,不涉及真正的光線追跡。因此,他們忽略了孔徑、傾斜和偏心。這兩種都接受開關(guān)49,如果打開此開關(guān),將估計(jì)的衍射斑半徑加到計(jì)算的幾何鬼像半徑。