synopsys光學(xué)設(shè)計(jì)軟件中的鬼像控制 f<V#Yc(U }
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鬼像是由一個(gè)或多個(gè)折射面反射引起的。SYNOPSYS可以評(píng)估和控制兩種類型的鬼像：GHOST程序可以確定在像面上哪個(gè)表面組合對(duì)鬼像負(fù)責(zé)，BGI可以評(píng)價(jià)在透鏡系統(tǒng)內(nèi)的另一個(gè)位置處形成的鬼像的特性。 yu' 2
為了從選擇的近軸鬼像控制圖像的彌散斑的大小，輸入 Jbud_.h9
M TAR WTA PGHOST JREFH JREFL ?X1vU0 c
M TAR WTA PUGHOST JREFH JREFL "-'w,g
第一個(gè)是PGHOST，用于控制物空間中一個(gè)點(diǎn)的近軸鬼像的彌散斑大小。這是通常的鬼像情況，其中在視場(chǎng)的一部分中的亮物體在另一部分中形成鬼像。第二個(gè)是PUGHOST，用于控制入瞳上的點(diǎn)的鬼像的大小。 4|Dxyb>pS
假設(shè)由表面15和表面9的反射產(chǎn)生的鬼像在像平面處清晰地聚焦。鬼像越小越清晰，可以通過增加彌散斑的大小來降低它的強(qiáng)度。假設(shè)想讓鬼像的彌散斑半徑不小于5 mm。以下是如何在AANT文件輸入中將其定位為這個(gè)值: tTT./-*0
M 5 1 A PGHOST15 9 MjAF&bD^
由于較大的鬼像不是缺陷，因此提供單側(cè)像差常常較好: {jX
h/`
LL 5 .1 4 1 o!`.LL%
A PGHOST 15 9 ckXJ9 >
在這里，如果鬼像半徑為5.0，缺陷值為0.1；如果半徑為4.0，缺陷值為1.0。注意，像差的返回值總是正的，因此目標(biāo)值也應(yīng)該是正的。 >g!a\=-[
如果使用此特性進(jìn)行優(yōu)化，請(qǐng)不要打開開關(guān)47。該選項(xiàng)用于對(duì)單個(gè)鬼像進(jìn)行詳細(xì)分析，如果該開關(guān)設(shè)置用于優(yōu)化，則會(huì)產(chǎn)生大量不必要的顯示輸出。 MOuI;EF
與GHOST命令類似，如果開關(guān)49打開（但不用于PUGHOST），該特性將通過所估計(jì)的衍射斑半徑增大所計(jì)算的近軸鬼像半徑。 dsKEWZ
=
也可以控制在鏡頭系統(tǒng)中形成的鬼像的大小（一個(gè)"隱藏的鬼像"）。這在高功率激光系統(tǒng)中是有用的，來自透鏡表面反射的鬼像如果清晰地聚焦可能會(huì)對(duì)元件造成損傷。這種控件的輸入是 p4
#U:_
M TAR WTA BGI JREFL JHOT 30(O]@f~
JREFL是反射光線的表面，而JHOT則是想要監(jiān)視光通量來防止損傷的表面。這種控制方式也推薦使用LL形式。因此，要確保從表面41反射的鬼像的光束半徑在表面9大于0.2個(gè)單位，可以在評(píng)價(jià)函數(shù)中輸入 li4rK <O
LL 0.2 .01 0.15 A BGI 41 9 -vcHSwG b
這個(gè)例子給出了0.01的懲罰如果鬼像半徑為0.2，如果鬼像半徑為1.5，則懲罰為5。注意，該控制應(yīng)用于彌散斑半徑的絕對(duì)值，因此該程序假設(shè)一個(gè)大的正值或負(fù)值，隨情況需要。 dF2 &{D"J
還要注意，PGH和BGI控制都是近軸量，不涉及真正的光線追跡。因此，他們忽略了孔徑、傾斜和偏心。這兩種都接受開關(guān)49，如果打開此開關(guān)，將估計(jì)的衍射斑半徑加到計(jì)算的幾何鬼像半徑。
