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[討論]關(guān)于電子槍與晶控系統(tǒng)之間的關(guān)系問題 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2019-07-14

關(guān)鍵詞：晶控電子槍

假定我們在晶控系統(tǒng)中常有設(shè)置材料輸出功率上限和速率一說，但是但實(shí)際鍍膜過程中我們會看到例如材料蒸發(fā)到一定厚度，會有鉆坑，這時要穩(wěn)定原來的速率也不知道是不是晶控系統(tǒng)受到反饋，從而自動提高輸出功率，1.晶控系統(tǒng)的速率設(shè)置是否直接自動時時控制電子槍輸出功率；2.那么假定電子槍時時輸出功率并不穩(wěn)定，排除電子槍方面問題是不是可以理解為晶控系統(tǒng)方面問題。