摘要：為了提高大口徑平面鏡面形檢測(cè)的精度和效率，提出了一種新的五棱鏡掃描法。該方法采用徑向掃描的方式，使用一個(gè)掃描的五棱鏡和一臺(tái)自準(zhǔn)直儀來(lái)測(cè)量表面傾斜角的差值，然后將被測(cè)平面鏡的面形表示為Zemike多項(xiàng)式的線性組合，再利用表面傾斜角的差值建立方程組，最后采用最小二乘法計(jì)算得到被測(cè)平面鏡的面形。在檢測(cè)過程中，該方法還可以對(duì)五棱鏡在掃描過程中的傾斜變化量進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)視和調(diào)整，減小了檢測(cè)誤差。誤差分析表明，該方法的面形檢測(cè)精度為7.6 nm rms（均方根誤差）。采用該方法對(duì)一塊1.5ｍ口徑的平面鏡進(jìn)行了面形檢測(cè)，并與Ritchey-Common法的檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比，兩種方法面形結(jié)果的差異為7.1 nm rms，小于五棱鏡掃描法的面形檢測(cè)精度。證明了利用該五棱鏡掃描法檢測(cè)大口徑平面鏡面形的正確性。 'XW[uK]w)
R-7.q
關(guān)鍵詞：五棱鏡掃描法；大口徑平面鏡；面形；表面傾斜角
