摘要：為了提高大口徑平面鏡面形檢測的精度和效率，提出了一種新的五棱鏡掃描法。該方法采用徑向掃描的方式，使用一個掃描的五棱鏡和一臺自準(zhǔn)直儀來測量表面傾斜角的差值，然后將被測平面鏡的面形表示為Zemike多項式的線性組合，再利用表面傾斜角的差值建立方程組，最后采用最小二乘法計算得到被測平面鏡的面形。在檢測過程中，該方法還可以對五棱鏡在掃描過程中的傾斜變化量進行自動監(jiān)視和調(diào)整，減小了檢測誤差。誤差分析表明，該方法的面形檢測精度為7.6 nm rms（均方根誤差）。采用該方法對一塊1.5ｍ口徑的平面鏡進行了面形檢測，并與Ritchey-Common法的檢測結(jié)果進行了對比，兩種方法面形結(jié)果的差異為7.1 nm rms，小于五棱鏡掃描法的面形檢測精度。證明了利用該五棱鏡掃描法檢測大口徑平面鏡面形的正確性。 $f\-.7 OD
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關(guān)鍵詞：五棱鏡掃描法；大口徑平面鏡；面形；表面傾斜角
