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掃描電鏡聚焦離子束能譜分析SEM,FIB,EDX 掃描電鏡聚焦離子束能譜分析SEM,FIB,EDX SEM/EDX（形貌觀測、成分分析）掃描電鏡（SEM）可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長和強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)的，根據(jù)不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結(jié)合電子顯微鏡（SEM）使用，可以對樣品進(jìn)行微區(qū)成分分析。 服務(wù)范圍：軍工，航天，半導(dǎo)體，先進(jìn)材料等 |
